?采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺(tái)。
?采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，環(huán)控制時(shí)的行程為90μm?100μm，理論分辨率達(dá)1nm。和開環(huán)控制相比，閉環(huán)控制時(shí)的最大行程會(huì)少10%左右。
?位置檢測(cè)采用了數(shù)字位移傳感器（頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器），閉環(huán)控制時(shí)的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器，可實(shí)現(xiàn)高速定位。
?重復(fù)驅(qū)動(dòng)SFS-H（直動(dòng)）系列平臺(tái)，可達(dá)10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的模擬信號(hào)驅(qū)動(dòng)時(shí)，可達(dá)25Hz。
?在閉環(huán)控制時(shí)，平臺(tái)的行程與開環(huán)控制時(shí)相比會(huì)減少20%左右。
